在線式甲酸真空燒結爐 —— VF680
| 型 號： | VF680 |
| 焊接面積： | 655mm*340mm |
| 加熱板面積： | 685mm*350mm |
| 焊接高度： | 100mm |
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詳細介紹
1. 設備共有3區，分別是：預熱、加熱、冷卻（具備獨立的工藝腔體）；每個腔體都具備觀察窗，工藝腔體壓力在0.2~1050mbar。
2. 設備支持氮氣、甲酸（氮氣+甲酸）氣氛環境，并能精準控制；支持焊片工藝。
3. 可編程多段抽真空功能：每個腔體具有獨立的真泵及控制系統，真空度≤1mbar,抽速100m^3/h，加裝軟抽閥，速率可調。腔體真空數值實時顯示并可控制和調節。
4. 采用加熱板接觸式加熱，冷卻板接觸式散熱，加熱板和冷卻板面積685*350mm,加熱板隔層承重≥20公斤；升溫速率1-3℃/S，降溫速率3-6℃/S，均可編程控制。
5. 工作溫度室溫~400℃，控溫精度≤±0.5℃，溫度均勻性≤±1%。
6.焊接后單個空洞率低于2%，總空洞率不超過3%（10*10mm以上），工藝曲線可根據具體要求進行調節；無夾具定位芯片焊接后位移滿足工藝需求（位移≤0.2mm角度≤1度)。
7.工藝控制：1）焊接中各階段的溫度梯度和時間，可按需要自由編程并保存； 2）能實現所有工藝曲線的自動生成，能對工藝程序進行編輯；3）具有數字式氣體質量流量控制器（MFC）,可精確控制工藝氣體流量。
8.自主研發控制程序，可實時監控和數據記錄，實時顯示和記錄溫度、流量及真空數據；具備程序權限管理（管理員、工藝員和操作員），防止程序參數被誤改。
9.設備具備腔體泄漏報警（檢測到真空失效，氣體泄漏時報警)、氣路供壓報警（氣路壓力過低時報警）、腔體過壓報警（腔體壓力過高時報警）、甲酸液位報警（甲酸液位過低時報警）、超溫報警（溫度超過設定的溫度的報警）；具備獨立的氣體保護系統，所以的電氣門均備鎖定 裝置。
10.加熱板平均壽命（平面度）在5年以上，溫控系統具有智能溫度校正功能，可對溫度進行溫差補償；具有MES功能，可開放相應的接口和功能，獲取客戶所需信息，SEMI通信標準SECS/GEM。
11. 前后具有軌道接口，可通過軌道與貼片機進行對接。
12. 設備模塊化設計，加熱管和加熱板分離設計，長期使用如果溫度均勻度有變化，可以不用更換整套加熱板，直接更換部分加熱管即可。方便調整每一個加熱板的溫度均勻度，易于維護和溫度性能校準。
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